昆山捷仕通制冷設(shè)備有限公司
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polycpld的工作應(yīng)用原理
在使用油擴(kuò)散泵的高真空環(huán)境中都存在著一定的殘余氣體，80%以上是水蒸汽、油蒸汽及其它高沸點(diǎn)的蒸汽，但其抽除殘余氣體的能力低，時(shí)間長(zhǎng)，而且所有殘余氣體還是工件的污染源，從而使產(chǎn)品的產(chǎn)量和質(zhì)量受到影響。深冷泵則是解決這類(lèi)問(wèn)題的上佳選擇。
深冷泵的工作原理:將一個(gè)能到-120℃以下的制冷盤(pán)管，放置在真空室中或油擴(kuò)散泵的泵口，通過(guò)其表面的低溫冷凝效應(yīng)，迅速捕集真空系統(tǒng)的殘余氣體。從而大大縮短抽真空的時(shí)間(可縮短60-90%的抽氣時(shí)間)、獲得潔凈的真空環(huán)境(真空度可提高半個(gè)數(shù)量級(jí)，達(dá)到10-8 Torr、10-5 Pa)。
